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工艺电源 RMG-1303

RMG-1303是适用于RF溅射、CVD、刻蚀等，等离子工艺的13.56MHz，300W功率的匹配器一体式RF电源。匹配器和RF电源一体化设计，体积小、重量轻。适用于从研究开发设备到量产设备的广泛领域。

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工艺电源

RF射频电源

RF电源匹配器一体机

电源

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爱发科

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、可通过低输出功率进行控制
    2、可通过1W的低输出功率进行控制
    3、标准配备脉冲RF输出功能
    4、标准搭载500Hz～100KHz的脉冲RF输出功能，可在低功率下进行控制
    5、标配外部同步端子
    6、标准搭载端子（BNC端子），用于叠加操作的13.56MHz同步信号的输入和输出
    7、AC100V至AC220V 的广泛输入
    单相 100V 至 220V / 50Hz 至 60Hz 的广泛输入
    8、体积小、重量轻
    200mm×200mm×350mm / 10Kg的小型轻量电源
    9、支持各种规格
    RoHS,CE,KC,SEMI-F47兼容

     

    |用途

    1、溅射设备
    2、CVD设备
    3、等离子清洗设备
    4、等离子刻蚀设备
    5、等离子去胶设备
    6、RF离子源
    7、射频中和器

  • |规格参数

    电源功能部分

    型式　 RMG-1303
    额定输入电压 单相50/60hz AC100V~220V
    额定输入容量 700VA
    泄漏电流 5mA 以下
    输入接口 IEC60320-C14
    振荡频率 13.56MHz±0.01% *1
    额定行波功率 300W (50Ω负载时)
    额定反射波功率 80W
    功率稳定性 ±1%以内或±2W以内的较大值(50Ω负载)
    冷却方式 风扇强制空冷
    备注 可输出500Hz～100KHz的脉冲RF

     

    匹配器功能部分

     

    型式　 RMG-1303
    额定功率 300W
    额定电流 10Arms
    额定电压 2500Vpp/±2500Vdc(标准) *2
    输出电极 2-M4(标准)･N･HN･DIN7/16 *3
    匹配精度 VSWR1.2或者3W以下
    备注 可选择变更额定电压
    可选择更改为连接器输出类型

     

    |曲线图

     

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