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工艺电源 MFU-20K

MFU-20K是通过与ULVAC制DC电源组合，将直流输出转换为双极脉冲输出的单元。以低成本实现良率和产量的提高。

所属分类：

爱发科

工艺电源

MF中频电源

电源

关键词：

爱发科

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、频率范围宽
         可以在10kHz～100kHz的范围内 ※1

    2、主/从连接允许大容量
         多达可以进行6台并行操作

    3、可以DC输出
         输入DC电源的输出可以照原样施加到阴极 ※2

     

    |用途

    1、FPD用反应溅射设备

    2、工业涂层用反应溅射设备

    3、彩色TFT用反应溅射设备

    4、一般溅射设备

     

  • |规格参数

     

    型式　 MFU-20K
    控制电源入力 输入电压 单相 AC90~264V
    入力容量 400VA
    入力规格 动作电压 0 ~ -1000V
    最大动作电流 50A
    点火电压 -1200V
    输出规格 最大输出电压 1000V（RMS）
    点火电压 DC-1200V
    最大输出电流 50A
    冷却方式 强制空冷
    质量（Kg） 29
    外形尺寸 W×D×H （mm） 483×630×177 （不含凸起物）
    备注    

     

    |曲线图

     

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