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工艺电源 MBX-系列

MBX系列是属于RFS系列专用匹配箱

所属分类：

爱发科

工艺电源

RF射频电源

匹配器

电源

关键词：

爱发科

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、高效率 配有高功率转换效率的RF电路以节省能量。

    2、快速自动匹配 快速算法实现快速自动匹配。

    3、RF电源内置自动匹配功能 只有主机才能进行匹配系统控制。

    4、可通过内置控制器手动控制RF电源和匹配器

    5、灵活的控制 外部模拟控制，可实现串联通信控制。

    6、可靠性高 对作为设备制造商所积累的设计经验。

     

    |用途

    1、溅射设备

    2、CVD设备

    3、等离子蚀刻设备

    4、RF离子源

    5、中和剂

     

  • 参数
    型式　 MBX-1305N MBX-1310N MBX-1330N MBX-1350N
    允许入力电力 30~500W 30~1KW 30~3KW 50~5KW
    允许输出电流 30A 80A 120A
    允许输出电压 2.5KV pp 5KV pp 10KV pp
    冷却方式 强制空冷 水冷（2L/min)
    质量（Kg） 8 10 21
    外形尺寸 W×D×H （mm） 375×250×120 （不含凸起物） 375×250×170 （不含凸起物） 450×500×248 （不含凸起物）
    备注  

     

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