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真空计 SH200-A/R/E

SH200-A/R/E真空计是新系列的传感器类型 "G-TRAN系列复合电离真空计"，可以实现不同的测量范围。作为B-A型电离真空计、可以测量超高真空。保留了以往的宽幅测压和低运行成本的理念，但进行了改进，更加人性化。适用于各种制造设备的高真空区域测量的电子元件和半导体等。

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据;
    2、小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一；
    3、操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等；
    4、更强大的产品阵容：除模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）；
    5、灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。
    压力测量范围广：从大气压到高真空范围（1×10+5～5×10-8Pa）（选配SWU10-R的情况下）；
    6、可以精确的测量大气压：可以检查腔体的开启情况（当连接了可选的单元SAU时）

    |用途

    1、用于各种制造设备的高真空区域的工艺监控，包括半导体和电子元件；

    2、用于具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力测量，例如in-line式和枚叶式；

    3、高真空・超高真空设备的压力测量。

  • |规格参数

     

    型式　 SH200-A SH200-R SH200-E
    机型规格 标准规格 串口通信规格 EtherCAT规格
    适应多离子传感器 SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
    可以连接的传感器 多离子传感器：1本
    皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选）
    大其他传感器SAU：1本（可选）
    测量精度（N2） SH200本体模式：±2％
    传感器内部容量 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
    使用温度范围 10～50℃
    使用湿度范围 15～80%(不结露)
    保管温度 -20～65℃(非通电时、不结露)
    IP保护等級 IP30
    电源电压 DC20～28V (波纹，噪音1%以下)　
    8W以下
    输入/输出连接器 D-sub15销（M2.6螺丝）
    重量 调节器：约280g　测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
    外形尺寸W×D×H（mm） 69×63×90 (控制器部分)
    备注  

     

    |曲线图

     

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