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低温泵 CRYO-U20H

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、低温泵是通过在真空容器内形成极低温面，把容器内的气体分子冷凝、吸附在此低温面上，将其从真空环境中除去的泵。

    2、被冷凝气体的饱和蒸汽和被吸附气体的吸附平衡压降至10-8pa以下时，低温泵才能有效进行抽气。

    3、这是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。

     

    |用途

    用于半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域。

     

  • |规格参数

     

    型式　   CRYO-U12H CRYO-U12HSP CRYO-U16 CRYO-U16P CRYO-U20H
    排气速度 @20℃ L/s 氩 4000.0  4100.0  5000.0  10000
    氢 6000.0  6000.0  10000.0  18000
    氩 3300.0  3400.0  4200.0  8400
    水 9500.0  9500.0  16000.0  29000
    极限压力 Pa   10的负7次方
    流量 Pa L/s 氩 2.0×103 2.0×103 1.4×103 1.6×103 1.7×103
    氢 4.1×102 4.1×102 4.1×102 4.5×102 5.0×102
    排气容量   氩 2.1×108 4.4×108 4.3×108 4.3×108 5.8×108
    氢 9.8×105 1.6×106 2.4×106 2.4×106 4.6×106
    吸气法兰     UVG-300,10BANSI UVG-300,10BANSI UVG-400 UVG-500,20BANSI ISO-500
    冷却下降时间 分 50/60Hz 85/75 90/80 110/100 120/110 160/140
    质量 KG   40 42 61 72
                   

     

    |曲线图

     

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