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低温泵 CRYO-U20P

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。

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  • 产品特点和用途
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  • |特点

    1、低温泵是通过在真空容器内形成极低温面，把容器内的气体分子冷凝、吸附在此低温面上，将其从真空环境中除去的泵。

    2、被冷凝气体的饱和蒸汽和被吸附气体的吸附平衡压降至10-8pa以下时，低温泵才能有效进行抽气。

    3、这是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。

     

    |用途

    用于半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域。

     

  • |规格参数

     

    型式　   CRYO-U20P CRYO-U22P CRYO-U22WB CRYO-U22H CRYO-U30H
    排气速度 @20℃ L/s 氩 10000.0  11500.0  13000.0  17000.0  28000
    氢 18000.0  14000.0  16500.0  25000.0  43000
    氩 8400.0  9700.0  11000.0  14000.0  23000
    水 29000.0  39000.0  39000.0  39000.0  70000
    极限压力 Pa   10的负7次方
    流量 Pa L/s 氩 1.1×103 1.7×103 3.5×103 4.1×103 2.7×103
    氢 5.0×102 5.0×102 1.3×103 1.3×103 7.4×102
    排气容量   氩 5.8×108 5.8×108 8.1×108 8.1×108 7.8×108
    氢 4.6×106 6.0×106 8.5×106 8.5×106 1.5×107
    吸气法兰     UVG-500 UVG-550  
    冷却下降时间 分 50/60Hz 180/160 180/170 165/150 150/135 240/200
    质量 KG   69 115 125 175
                   

     

    |曲线图

     

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