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磁悬浮涡轮分子泵 UTM1600A

采用磁悬浮控制器一体型，通过泵本体与控制器一体化，实现了省配线，省空间等优点。涡轮分子泵主要应用于半导体、薄膜等工业领域。

所属分类：

控制器一体型

磁悬涡轮浮分子泵

关键词：

控制器一体型

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、采用磁悬浮控制器一体型分子泵；通过泵体的本体与控制器一体化，实现了省配线，省空间。
    2、推出排气速度1000L/s-3000L/s种类；
    3、不需要将泵体和控制器直接配上复杂的配线；
    4、自由安装方向，没有安装方向的限制，所以装置设计的自由扩大；
    5、泵回转数可在25-100%的范围变更，因此能够调整腔体压力；
    6、用于Light工艺的广域大流量设计；
    7、有高耐久性和安全性。

     

    |用途

    主要应用于半导体、薄膜等工业领域。 

  • |规格参数

     

        UTM-1200A UTM-1600A UTM-2300A UTM-3400A
    吸气口   VG150 / ISO160F VG200-250 / ISO200-250F VG250 / ISO250F VG300-350 / ISO320F
    排气口   KF40
    排气速度*2、*3（L/sec） N2 1030.0  1400.0  2100.0  3200.0 
    Ar 980.0  1330.0  2000.0  3100.0 
    H2 660.0  750.0  1380.0  2100.0 
    极限压力(n2)pa   10的负7次方
    压缩比 N2 2×108 1×108以上 1×109以上
    He 7×103 5×103 1×105
    H2 8×102 9×102 6×103
    冷却方式   水冷  
    噪音（db）   57 60
    质量（kg）   43 41 56 94
    辅助泵排气速度（L/h）   36.00以上 90.00以上
    回转数（rpm)   37200 33700 27600
    启动时间   8分钟以内 9分钟以内 16分钟以内
    外部控制 远程接口 D-sub25PIN,接点入输出 D-sub37PIN,接点入输出
    串行接口 专用圆形接口，RS232C/RS485 D-sub9PIN,RS232C/RS485
    控制器 构成 与泵本体一体（内装与底部）
    电源 单相AC220-240V±10%（50/60Hz）
    输出 0.75KVA 1.2KVA
    冷却水流量（L/min)   3-4

     

     

    |曲线图

     

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