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工艺电源 DC-4

DC-2和DC-4是2kW和4kW输出功率的溅射用DC电源。通过高控制精度重复再现性、实现高品质工艺。

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DC电源

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电源

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爱发科

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、高控制精度
         即使在10％或更低的低功率区域内，也可以实现设定值±1％的高精度输出

    2、宽精度保证
         1～100%的宽功率精度保证

    3、重量轻・节省空间
         轻巧，节省空间的设计，安装更方便

    4、不需要冷却水
          强制空冷系统，不需要冷却水。

    5、高可靠性
         作为设备制造商的经验累积成果。

     

    |用途

    R&用于溅射设备 ・各种成膜设备的偏压电源

     

  • |规格参数
    型式　 DC-2 DC-4 DC-5P DC-10P
    入力样式 输入电压 3相 AC180~242V 三相 AC187~229V
    入力容量 3.5KVA以下 6.2KVA以下 8kVA 13.5kVA
    输出样式 最大额定输出 2kw 4kw 5kw 10kw
    额定电流 5A 10A 12.5A 25A
    额定电压 -800v -650v / -800v
    点火电压 -1200V -1500V
    异常放电控制 当检测到异常放电时变频器停止
    控制 控制方式 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒压控制（V控制）
    控制精度 设定值的±1% 额定输出±0.5%以下或设定值的±1%，以大的值为准
    控制保证范围 额定功率值的1至100% 额定功率值的10至100%
    冷却方式 强制空冷
    质量（Kg） 15 29 36
    外形尺寸 W×D×H （mm） 241×610×133 （不含凸起物） 483×630×133 （不含凸起物）
    备注          

     

    |曲线图

     

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