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工艺电源 RFS-1310N

RFS-N系列是输出频率13.56MHz、功率0.5kW/1/kW/3kW/5kW的等离子工艺用RF电源。装载高效率RF放大器实现了小型·轻量化。另外，RF电源内置自动匹配控制器功能，仅从主机单元就可以对RF电源进行电力控制及匹配系统控制。

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、高效率
         配有高功率转换效率的RF电路以节省能量。

    2、快速自动匹配
         快速算法实现快速自动匹配。

    3、RF电源内置自动匹配功能
         只有主机才能进行匹配系统控制。
         可通过内置控制器手动控制RF电源和匹配器

    4、灵活的控制
         外部模拟控制，可实现串联通信控制。

    5、可靠性高
          对作为设备制造商所积累的设计经验。

     

     

    |用途

    1、溅射设备

    2、CVD设备

    3、等离子蚀刻设备

    4、RF离子源

    5、中和剂

     

     

  • |规格参数

     

    型式　 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N
    入力样式 输入电压 单相 AC180~242V 3相 AC180~242V
    入力容量 1.2KVA 1.8KVA 5KVA 8KVA
    输出样式 发振频率 13.56 MHZ
    额定进行波输出（50Ω负荷时） 500W 1KW 3KW 5KW
    最大发射波输出 100W 500W
    谐波失真率 -35db以下
      控制精度 额定输出的±2%以下
    控制保证范围 额定电力值的10~100%
    冷却方式 强制空冷 水冷（4L/min) 水冷（6L/min)
    质量（Kg） 11 23
    外形尺寸 W×D×H （mm） 240×495×150 （不含凸起物） 480×495×150 （不含凸起物）
    备注  

     

    |曲线图

     

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