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低温泵 IS XVS 320F

低温泵具有超卓的氢气抽取性能，可提高工艺产量和吞吐量，为当今的离子注入应用挑战提供出色的解决方案。低温泵的内置智能系统控件可确保获得更好的工艺质量、真空一致性和工作时间，同时提供实时的系统信息以优化阵列温度的控制。通过自动适应不断变化的热/气负载条件，提高真空质量。

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爱德华低温泵

On-Board® XVS 低温泵

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    320FX：

    1、分布式控制系统可监测并不断调整低温泵系统的各个元件

    2、保持优质的全系统真空性能，提供出色的流程一致性

    3、无论是单泵还是多泵配置，再生速度都很快 能源和冷却水消耗低，却不牺牲真空性能

    4、易于实现系统集成

    5、快速完成生产安装

    6、增强的远程监测功能，可进行预防性和预测性维护

     

    320F XVS：

    1、再生过程之间的 H2 抽速波动变小

    2、减少光刻胶污染对 H2 抽速的影响

    3、优化、稳定的阵列温度

     

     

    |用途

    用于半导体、平板和光学设备制造的精密低温泵系统。

  • |规格参数

     

    型式　   320FX 320F XVS
    最大排气速度 L/sec 氩 3800.0  2400.0 
    氢 15500.0  12500.0 
    空气 4800.0  3600.0 
    水 1100.0  11000.0 
    极限压力 Torr     <1.0×10-8
    最大流量 L 氢 40 30 / 40
    电机功率 VAC   200/230
    吸气法兰     ISO 320mm
    质量 KG     45.5
             

     

    |曲线图

     

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