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真空计 CCMT-1D

CCMT系列隔膜真空计，是采用陶瓷隔膜根据气体的变化发生变形，随着变化静电容量中检出压力的真空计。主要用于对溅射设备、蒸发镀膜设备、太阳能电池设备等的压力监测。

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  • 产品特点和用途
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  • |特点

    1、采用陶瓷（铝）隔膜：优越的耐腐蚀性、长时间的稳定性；

    2、可以测量绝对压力：不受气体种类的影响，可全压测量；

    3、温度补偿：内置温度补偿回路；

    4、保护功能：采用保护结构保护传感器不受飞行物影响；

    5、预热时间缩短：从接入电源开始，到稳定测量为止的时间大幅度缩短。

     

    |用途

    1、应用于溅射设备、蒸发镀膜设备等的成膜过程管理；

    2、应用于太阳能电池等的各种制造设备的压力监测等。

  • |规格参数

     

    型式　 CCMT-1000D CCMT-100D CCMT-10D CCMT-1D
    测量压力范围 133 KPa F.S 13.3 KPa F.S 1.33 KPa F.S 133 Pa F.S
    实用测量下限压力 13 Pa 1.3 Pa 0.13 Pa 1.3×10-2 Pa
    分解能 66.6 Pa 6.7 Pa 0.67 Pa 6.7×10-1 Pa
    测量精度 ±0.2%
    测量值输出 线性输出（DC 0~10V）
    电源电压 DC14 - 30V
    接头规格 NW16、1/2 pipe（⊘）12.7、8VCR
    外形尺寸 mm ⊘55×117
    备注  

     

    |曲线图

     

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