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气体分析仪 BGM2-201

BGM系列分析仪适合蒸发设备及各种真空炉的设备管理(品质管理、提高效率)。

所属分类:

爱发科

气体分析仪

基本工艺

气体分析仪

关键词:

爱发科


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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、性价比优异的通用规格
    2、测量质量范围 1~100 amu
    3、显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
    4、操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易,不需要复杂的操作
    5、增强检漏功能
    6、可以测量总压力
    7、标准搭载Qulee QCS软件
    8、符合CE

     

    |用途


    1、真空蒸发设备和溅射设备等成膜设备的残留气体分析
    2、高真空排气设备的残留气体分析
    3、冷冻干燥设备的残留气体分析
    4、研究开发用途的各种气体分析

  • |规格参数

     

    型式  BGM2-101 BGM2-102 BGM2-102 CGM2-202
    质量数范围 1~100 amu 1~200 amu 1~100 amu 1~200 amu
    灵感度 10-7 A/Pa 4 A/Pa
    检知分压 1x10-8Pa 1x10-12Pa
    使用压力 1x10-2Pa
    分辨率 M/∆M=1M(10% P.H.)
    烘烤可能温度
    (传感器单元连接时)
    120℃
    烘烤可能温度
    (传感器单元移除时)
    250℃
    使用温度范围 10~40℃
    软件 Qulee QCS Ver.4.0以上(Windows 7/8/10)适用
    备注  

     

    |曲线图

     

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