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气体分析仪 CGM-051

CGM系列分析仪适合于溅射设备的工艺管理（品质管理、提高效率）。

所属分类：

爱发科

溅射工艺

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气体分析仪

关键词：

爱发科

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、适用于各种溅射系统的工艺监控
    2、Air Leak监控
    3、残留水分管理
    4、无需差动排气系统（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
    5、内置显示屏：无需PC可单独操作使用
    6、可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-052）
    7、可进行全压测定
    8、操作简单-One Click功能
    9、标配Qulee QCS软件
    10、支持CE标准

    |用途

    1、适用于溅射设备的残余气体分析、工艺监控和杂质管理(H2O)。
    2、用于溅射设备的泄漏测试。

  • |规格参数

     

    型式　 CGM2-051 CGM2-052 CGM2-101 CGM2-102
    质量数范围 1～50 amu 1～100 amu 1～50 amu 1～100 amu
    灵感度 0.1uA/Pa 0.1mA/Pa
    最小检知分压 1x10-7Pa 1x10-10Pa
    最大使用压力 2Pa 2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
    线性 1Pa
    全压力测量功能 有
    一键检漏功能 有
    电源电压 DC24V±10％　50W
    最大烘烤可能温度
    (传感器单元连接时)    		 120℃
    最大烘烤可能温度
    (传感器单元移除时)    		 250℃
    使用温度范围 10～40℃
    接口 Ethernet
    软件 Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）适用
    备注  

     

    |曲线图

     

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