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气体分析仪 RGM2-302

RGM系列分析仪适合在蚀刻设备、CVD设备的工艺管理（品质管理、提高效率）和终点监测。

所属分类：

爱发科

气体分析仪

CVD-ALD-刻蚀工艺

气体分析仪

关键词：

爱发科

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图

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    |特点

    1、可以在反应过程中长时间进行稳定的测量

    2、采用具有磁场的Claude离子源

    3、软电离可防止在高灵敏度电离室因热反应而产生的分解和吸附，同时气体离解较少

    4、紧凑型流量控制阀

    5、处理室到离子源的距离很短，可以快速响应分辨率

    6、可以测量宽范围的压力10-6 to 13kPa（口径可选）

    7、无需电脑也可以测量

    8、One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）

    9、连接传感器单元时，最大可以进行120℃的高温烘烤

    10、离子源，二次电子倍增管的预防性维护分析管加载了可追溯性（专利申请中）

    11、可进行氦气检漏，漏气测试

    12、标准搭载软件（Windows 8/10/11）

     

    |用途

     

    1、CVD/ALD/蚀刻设备

    2、监测工艺中的反应气体

    3、蚀刻和清洁工艺的末端监测

    4、残留气体测量

    5、检漏

  • |规格参数

     

     

    型式　 RGM2-202 RGM2-302
    质量数范围 1-200 amu 1-300 amu
    灵感度 1×10-3 A/Pa (二次电子增倍管（SEM）)
    检知分压 1×10-10Pa
    抽样压力 13 KPa
    分辨率 M/∆M=1M(10% P.H.)
    气体导入阀门 带有孔径的流路控制阀门
    离子源/灯丝 带磁铁的密封型离子源 / V字型灯丝  Ir / Y2O3(1本）
    软件 Qulee QCS Ver.3.1以降（Windows 7/8/10）适用
    备注  

     

    |曲线图

     

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