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磁悬浮涡轮分子泵 STPiX3006 DN250

STP系列磁悬浮涡轮分子泵因其质量和可靠性在市场上享有极高的声誉，并且是许多具挑战性的半导体应用的分子泵。对于实验室应用，STP磁悬浮涡轮分子泵极为可靠，并且超长时间运行而无需维护。

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STP磁悬浮涡轮分子泵

磁悬涡轮浮分子泵

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STP磁悬浮涡轮分子泵

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、振动低，磁悬浮意味着无摩擦，因此振动极低，此外这种特性能够保持不变，并且不会随零件磨损而变化。

    2、无油，使用磁力轴承，因此无需使用任何碳氢化合物润滑剂。

    3、自动平衡系统，爱德华5轴磁悬浮泵能够动态调整磁场，从而防止转子失衡。

    4、免维护，零摩擦意味着无磨损，因此在正常操作中无需进行任何日常维护。

    5、耐腐蚀性能，大多数爱德华 STP 磁悬浮涡旋分子泵还提供镀镍涂层的内部过流部件和氮气吹扫设备的专用耐腐蚀型号，是化学实验室应用的理想选择。

     

    |用途

    除了应对一般的研发市场（有时需要更快的抽速）外，这些泵还设计用于满足涂层市场和其他扩散市场领域的要求，例如热处理、熔炉应用、电子束焊接、蚀刻、离子植入、排气和气瓶抽空。

     

  • |规格参数

     

    型式　   STP301 DN100 STP451 DN160 STP603 DN160 STP1003 DN200 STPiX457 DN100 STPiX457 DN160 STPiX3006 DN250 STPiX3006 DN320
    峰值抽速 Ls-1 N2 300.0  480.0  650.0  1000.0  300.0  450.0  2300.0  2700.0 
    H2 300.0  460.0  550.0  800.0  300.0  460.0  2600.0  2700.0 
    压缩比 N2 >108
    H2 2×104 >105 1×104 6×104
    极限真空（CF） mbar <5×10-10
    最大可处理气体流量 N2 sccm / 120 1000
    连续运行允许最大入口压力 mbar 6.7×10-4 1.3×10-4 1.3×10-3 /
    最大允许前级压力 mbar 0.13 0.67 1.33
    电机最大功耗 W 350 800 240 1500
    电机额定转数 rpm 48000 35000 55000 27000
    进气法兰   ISO100或CF100 ISO160或CF160 ISO160或CF160 ISO200或CF200 ISO100或CF100 ISO160或CF160 ISO250或CF250 ISO320 或 CF320
    排气法兰   NW25 NW40 NW25 NW40
    从启动到加速90%的转数所需时间 s 180 360 480 840
    冷却方式   自然冷却 / 强制风冷 / 水冷 自然冷却/强制风冷 /
    控制器通讯接口   RS232 / I /O
    质量 kg 11 12 31 kg 16 84 87
    备注    

     

     

    |曲线图

     

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