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螺杆泵 LS1200A-C

LS系列螺杆泵是一款高速排气与低电力消费同时满足的干泵。有四种型号可供选择,能够根据设备大小及使用条件,选出合适的排气容量。LS系列螺杆泵主要应用于溅射、镀膜、贴合、真空干燥、冷冻等行业。

所属分类:

真空泵

干式真空泵

LS系列

螺杆干泵

爱发科

关键词:

真空泵


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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、大气压附近的排气速度最大为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%;

    2、标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以下, 这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级(*1));

    3、C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。 该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下(*2);

    4、LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本(*3);

    5、希望进一步提高排气速度的话,建议您搭配机械增压泵使用。 通过组合使用排气速度可以达到120~1200m3/h。

     

    |用途

    LS系列有两种规格。

    首先是面向清洁工艺的规格。 为内置ECO-SHOCK的低功耗型,适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。 具体来说,包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。

    其次是面向轻工艺的规格。 具有表面处理和净化功能,适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。 具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。

     

  • |规格参数
    型式  C式样 LS120A LS300A LS600A LS1200A
    L式样 C L C L C L C L
    排气速度 m3/h 120.0  380.0  600.0  1000.0 
    极限压力 Pa ≦0.6 ≦0.1
    电机电压 V 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
    额定功率 kW 0.6 2.0  1.0  2.5 1.3 2.6 1.3 2.7
    冷却水量 L/min 2.0  4.0 
    气体吹扫 SLM        
    噪音值 dB(A) 61 61 62 64
    进气口   KF50(水平)/
    VG50(垂直)
    ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100
    排气口   KF40
    重量 kg 142 220 242 266
    尺寸 mm        
    备注          

     

    |排气曲线图

     

     

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