图片名称

产品中心

+
  • 11_a2k_40k.png

工艺电源 A2K-40K

A2K系列是在反应性溅射工艺中，在DC电源输出上脉冲施加正电压，中和靶材上的积蓄电荷来防止异常放电的附加单元。能在原来的电源上简单的追加，低成本实现产量和良率提高。

所属分类：

爱发科

工艺电源

DC电源

异常放电防止单元

电源

关键词：

爱发科

联系我们
  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、高产量
          通过减少异常放电可以输入更高功率

    2、基板损伤减少
          能够减少电弧引起的基板损

    3、控制基板的问题
          与RF溅射相比，可以降低基板温度

    4、简单的连接性
          可以连接到现有设备

    5、可变的反向脉冲频率
          A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～ 50kHz范围内可使用

    6、脉冲同步系统
          可以输出多个A2K单元的同步脉冲 *2 *3

    7、主从连接可实现大容量
         A2K-20K、40K多达可以6台并联运行

     

     

    |用途

    1、FPD用反应溅射设备

    2、工业涂层用反应溅射设备

    3、彩色TFT用反应溅射设备

     

  • |规格参数

     

    型式　 A2KH-25 A2K-20K A2K-40K
    控制电源入力规格 输入电压 单相 AC90~110V 单相AC90~264V
    入力容量 100AV 400AV
    入力规格 动作电压 -800v
    动作电流 25A 50A 100A
    入力结构 MS3106B  22-2P 一般式接口 1系统 一般式接口 2系统
    冷却方式 强制空冷
    质量（Kg） 16 30 45
    外形尺寸 W×D×H （mm） 238×450×149（不含凸起物） 483×630×177 （不含凸起物）
    备注  

     

    |曲线图

     

相关产品