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陶瓷轴承型涡旋分子泵 UTM300B
采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵，通过控制器和泵体一体化设计，可以节省空间。优良的高背压特性，使辅助泵也可以小型化。涡轮分子泵主要应用于半导体、薄膜等工业领域。
所属分类：
陶瓷轴承型
机械涡轮分子泵
关键词：
陶瓷轴承型
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|特点
采用了陶瓷轴承的复合翼型涡轮分子泵，通过控制器和泵体一体化设计，可以节省空间。优良的高背压特性，使辅助泵也可以小型化。
|用途主要应用于半导体、薄膜等工业领域。
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|规格参数
型式 UTM-300B 泵本体 吸气口 VG100,ICF152,ISO100-K 排气口 KF25 排气速度（L/sec） 280.0 极限压力(n2)pa 烘烤前（*3） 10的负8次方 烘烤后 10的负6次方 压缩比 >1×109 冷却方式 自然空冷 / 强制空冷 质量（kg） 约6-9.3 辅助泵排气速度（L/h） 7.2以上 电源（D3型） 电源容量（KVA） DC24V-180W 入力电压/频率 |曲线图
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