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磁悬浮涡轮分子泵 UTM-2300FW

FW款具有广域、大流量的排气性能的涡轮分子泵。涡轮分子泵主要应用于半导体、薄膜等工业领域。

所属分类：

数字磁悬浮型

磁悬涡轮浮分子泵

关键词：

数字磁悬浮型

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  • 产品特点和用途
  • 产品参数和曲线图
  • |特点

    1、FH: 拥有高背压、高压缩型的排气性能的涡轮分子泵；
    2、FW: 拥有广域、大流量的排气性能的涡轮分子泵。

     

    |用途

    主要应用于半导体、薄膜等工业领域。

  • |规格参数

     

    型式　 UTM-350FW UTM-480FW UTM-800FW UTM-1001FW UTM-1400FW UTM-2300FW UTM-3301FW
    泵本体 吸气口 VG100 / ICF152 VG150 / ICF203 VG150 / ICF203 VG200 / ICF253 VG250 /200,ICF253 VG300/250,ICF305 VG350
    吸气口 KF25 KF40
    排气速度（L/sec） 350.0  480.0  810.0  1000.0  1490.0  2730.0  3300.0 
    极限压力(n2)pa 10的负7次方 10的负8次方 10的负8次方
    压缩比 >1010 >109
    冷却方式 水冷 / 空冷 水冷
    质量（kg） 约 17 约 28 约 36 约 60 约 90
    辅助泵排气速度（L/h） 17.4 48 90
    电源（D3型） 电源容量（KVA） 0.6 0.9 1.2 1.3 2.0 
    入力电压/频率 AC200-240V 单相50/60Hz
    质量（kg） 约10

     

    |曲线图

     

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